バルクシリコン基板上に形成したゲート長20nm、フィン幅6nmのCMOS FinFETのプロセスインテグレーション技術とデバイス特性(<IEDM特集>先端CMOSデバイス・プロセス技術)

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概要

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• 酸化トリミングによる微細なフィンの形成、新規パンチスルーストッパー(PTS)形成技術の適用により、バルクシリコン基板を用いたFinFET(Bulk-FinFET)としてはこれまでで最小のゲート長20nmでのMOSFET動作を確認した。新規PTS形成技術は従来のPTS形成技術と比較してDIBLの抑制に効果があると同時に、低チャネル不純物濃度によるGm向上、接合容量低減などのメリットがあることがわかった。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2006-01-13

著者

• 窪田 壮男

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 青木 伸俊

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 宮野 清孝

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 稲葉 聡

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 石丸 一成

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 石内 秀美

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 岡野 王俊

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 須黒 恭一

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 近藤 正樹

  (株)東芝 セミコンダクター社soc研究開発センター

• 石丸 一成

  (株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 石丸 一成

  (株)東芝セミコンダクター社

• 稲葉 聡

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 稲葉 聡

  (株)東芝セミコンダクター社

• 松下 貴哉

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 泉田 貴士

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 伊藤 早苗

  (株)半導体先端テクノロジーズ第二研究部

• 岡野 王俊

  (株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 青木 伸俊

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 青木 伸俊

  マイクロエレクトロニクス研

• 青木 伸俊

  (株)東芝soc開発センター

• 宮野 清孝

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 宮野 清孝

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 石内 秀美

  東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 石内 秀美

  (株)東芝

• 水島 一郎

  株式会社東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  (株)東芝 研究開発センター

• 綱島 祥隆

  (株)東芝 セミコンダクター社

• 伊藤 早苗

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 川崎 博久

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 金子 明生

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 八木下 淳史

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 金村 貴永

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 伊藤 早苗

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 小野 高稔

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 矢橋 勝典

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 岩出 健次

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 窪田 壮男

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 江口 和弘

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 矢橋 勝典

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 金村 貴永

  東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 須黒 恭一

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 綱島 祥隆

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 須黒 恭一

  (株)東芝

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 青木 伸俊

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 川崎 博久

  (株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 江口 和弘

  半導体理工学センター(STARC)

• 金子 明生

  東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ

• 江口 和弘

  (株)東芝

• 八木下 淳史

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ

• 泉田 貴士

  (株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 綱島 祥隆

  (株)東芝

• 水島 一郎

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