26aYL-3 第一原理計算によるSi結晶中のB_2クラスターの振動モード解析

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 山内 淳

  慶大理工

• 青木 伸俊

  マイクロエレクトロニクス研

• 水島 一郎

  株式会社東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 山内 淳

  (株)東芝研究開発センター

• 水島 一郎

  マイクロエレクトロニクス研

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 青木 伸俊

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ

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