29p-WC-9 Al表面上での塩素分子の解離吸着過程の理論解析

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1994-03-16

著者

• 酒井 明

  京大工

• 山内 淳

  慶大理工

• 塚田 捷

  東大理

• 光武 邦寛

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 山内 淳

  東大理

• 光武 邦寛

  東芝研究開発セ

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