光武 邦寛 | 東芝研究開発セ

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概要

• 同名の論文著者
• 東芝研究開発セの論文著者

関連著者

• 山内 淳

  慶大理工

• 塚田 捷

  東大理

• 光武 邦寛

  東芝研究開発セ

• 酒井 明

  京大工

• 光武 邦寛

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 山内 淳

  東芝研究開発センター

• 山内 淳

  東大理

著作論文

• 3a-K-5 Si(001)表面におけるハロゲン(塩素、臭素)吸着過程の理論解析
• 29p-WC-9 Al表面上での塩素分子の解離吸着過程の理論解析

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