31a-ZA-13 Si中の不純物による共鳴振動モードの第一原理的研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-03-15

著者

• 山内 淳

  慶大理工

• 青木 伸俊

  マイクロエレクトロニクス研

• 水島 一郎

  株式会社東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  マイクロエレクトロニクス研

• 山内 淳

  東芝 基礎研

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 青木 伸俊

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ

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