31a-E-2 第一原理計算によるSi中のB_<12>クラスターの研究III
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-03-17
著者
-
山内 淳
慶大理工
-
青木 伸俊
マイクロエレクトロニクス研
-
水島 一郎
株式会社東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター
-
山内 淳
東芝基礎研
-
青木 伸俊
東芝マイクロエレクトロニクス研
-
水島 一郎
東芝マイクロエレクトロニクス研
-
水島 一郎
東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター
-
青木 伸俊
東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター
-
水島 一郎
東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ
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