Dual Damascene によるCu配線形成

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概要

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• 1995-11-30

著者

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 野中 源一郎

  九州大学薬学部

• 野中 作太郎

  九州電気専門学校

• 石田 芳也

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

• 金井 直樹

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

• 須黒 恭一

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 下岡 義明

  (株)東芝

• 平林 英明

  (株)東芝生産技術研究所

• 南幅 学

  株式会社東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 川ノ上 孝

  (株)東芝セミコンダクター社

• 川ノ上 孝

  (株)東芝ulsi研究所

• 伊高 利昭

  (株)東芝セミコンダクター社

• 大川 秀樹

  (株)東芝生産技術センタｰ

• 須黒 恭一

  (株)東芝ulsi研究所

• 須黒 恭一

  (株)東芝

• 大川 秀樹

  (株)東芝生産技術研究所

• 南幅 学

  (株)東芝ULSI研究所

• 飯島 匡

  (株)東芝ULSI研究所

• 田村 仁

  (株)東芝ULSI研究所

• 桜井 直明

  (株)東芝生産技術研究所

• 久保田 剛

  (株)東芝生産技術推進センター

• 古山 充利

  (株)東芝生産技術推進センター

• 伊高 利明

  (株)東芝生産技術推進センター

• 大島 次郎

  (株)東芝

• 桜井 直明

  (株)東芝 生産技術センター プロセス研究センター

• 桜井 直明

  (株)東芝

• 大島 次郎

  (株)東芝 半導体事業部

• 平林 英明

  (株)東芝 生産技術センター プロセス研究センター

• 久保田 剛

  (株)東芝 半導体事業本部

• 下岡 義明

  (株)東芝ulsi研究所

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