桜井 直明 | (株)東芝 生産技術センター プロセス研究センター
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概要
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桜井 直明
(株)東芝 生産技術センター プロセス研究センター
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宮下 直人
明治大学理工学部電気電子工学科:(株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター
著作論文
- CuCMP研磨剤の微視的研磨表面における影響
- コンタクト同時埋め込みCu配線プロセス
- Dual Damascene によるCu配線形成
- アルミナ砥粒を用いたCU-CMP用研磨液の研磨速度の高速化と安定化
- 液体マスフローコントローラの開発
- 基板スピン洗浄における飛散ミストの可視化