桜井 直明 | (株)東芝生産技術研究所
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概要
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桜井 直明
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小原 隆
(株)東芝 生産技術研究所
著作論文
- コンタクト同時埋め込みCu配線プロセス
- Dual Damascene によるCu配線形成
- アルミナ砥粒を用いたCU-CMP用研磨液の研磨速度の高速化と安定化
- 液体マスフローコントローラの開発
- 基板スピン洗浄における飛散ミストの可視化