マイクロ波発生用高効率デュアル・レゾナント・キャビティInGaAs pin PD(マイクロ波フォトニクス技術,一般)

元データ 2009-07-23

概要

光ファイバ無線のためのマイクロ波発生用として、感度の波長依存性を大幅に低減した高効率のデュアルレゾナントキャビティ型InGaAs pin-PDを開発した。高光電流が流せるようInGaAs吸収層の厚みを0.8umに薄膜化したにも関わらず、0.90A/W(@1.54um)の高感度が実測で得られた。感度の波長依存性は緩やかで1500〜1565nmの広い波長範囲で0.81A/W以上の高感度であった。光入力パワー+20dBmにおいて、マイクロ波出力+215dBm@5GHzが得られた。本PDは、効率の高いマイクロ波発生用受光素子として有望である。

著者

野中 聡 旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
石村 栄太郎 三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
中路 雅晴 三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
綿谷 力 三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
太田 徹 三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
板倉 成孝 三菱電機(株)情報技術総合研究所
酒井 清秀 三菱電機(株)情報技術総合研究所
青柳 利隆 三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
石川 高英 三菱電機(株)高周波光デバイス製作所
板倉 成孝 三菱電機株式会社情報技術総合研究所
酒井 清秀 三菱電機株式会社情報技術総合研究所
石村 栄太郎 三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
青柳 利隆 三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
綿谷 力 三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
石川 高英 三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
石川 高英 三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所開発部
石川 高英 三菱電機
石川 高英 三菱電機株式会社
青柳 利隆 三菱電機株式会社
青柳 利隆 三菱電機(株) 光・マイクロ波デバイス開発研究所
石川 高英 三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
青柳 利隆 三菱電機株式会社 高周波光デバイス製作所
中路 雅晴 三菱電機株式会社
酒井 清秀 三菱電機株式会社
石川 高英 三菱電機(株)情報電子研究所光・電波機器開発室
板倉 成孝 三菱電機(株)
青柳 利隆 三菱電機(株)高周波デバイス製作所開発部
中路 雅晴 三菱電機(株) 高周波光デバイス製作所

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