低消費電力型BiCMOS用シャロウトレンチ最適化の検討
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概要
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- 2002-03-07
著者
-
石内 秀美
(株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター
-
井納 和美
(株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター
-
吉野 千博
東芝セミコンダクター社
-
新居 英明
(株)東芝セミコンダクタ社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部
-
勝又 康弘
東芝セミコンダクター社
-
石内 秀美
東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター
-
宮川 裕之
東芝セミコンダクター社
-
中島 博臣
東芝セミコンダクター社
-
川井 博文
東芝セミコンダクター社
-
菅谷 弘幸
東芝セミコンダクター社
-
滝本 一浩
東芝セミコンダクター社
-
新居 英明
東芝セミコンダクター社
-
井納 和美
東芝セミコンダクター社
-
石内 秀美
東芝セミコンダクター社
-
中島 博臣
(株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター
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