Study on Compositional Transition Layers at Gate Dielectrics/Si Interface by using Angle-resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy
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概要
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Soft x-ray-excited angle-resolved photoemission results for nitride films formed using nitrogen-hydrogen radicals on Si(100), Si(111), and Si(110) are reported. The Si_3N_4/Si interfaces on all three surfaces are compositionally abrupt. This conclusion is based on 1) the observation that no Si atoms bonded with three N atoms and one Si atom were detected, 2) the observation that the number of Si-H bonds at the Si_3N_4/Si(110) interface is 38〜53% larger than those at the Si_3N_4/Si(100) and Si_3N_4/Si(111) interfaces indicates a dependence of the interface structure on the orientation of the substrate.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-06-17
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
野平 博司
Musashi Institute Of Technology
-
TERAMOTO Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
大見 忠弘
東北大学
-
大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター
-
OHMI Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
IKENAGA Eiji
Japan Synchrotron Radiation Research Institute/SPring-8
-
Teramoto A
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Sugawa S
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University:(present Addre
-
Ikenaga Eiji
Japan Synchrotron Radiation Research Institute
-
Hattori Tetsuya
Depaetment Of Electrical And Electronic Engineering Tokyo Institute Of Technology
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
-
SUWA Tomoyuki
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
ARATANI Takashi
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
-
HIGUCHI Masaaki
TOSHIBA CORPORATION
-
SUGAWA Sigetoshi
Tohoku University
-
USHIO Jiro
Hitachi, Ltd.
-
NOHIRA Hiroshi
Musashi Institute of Technology
-
HATTORI Takeo
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
Hattori Takashi
Central Research Laboratory Hitachi Ltd.
-
Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Sugawa Shigetoshi
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Sugawa Shigetoshi
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Hirayama Masaki
Toshiba Corporation
-
Nohira Hiroshi
Faculty Of Engineering Musashi Institute Of Technology
-
Hattori T
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center Future Information Industry Creation Center Tohoku University
-
Ushio Jiro
Hitachi Ltd.
-
Suwa Tomoyuki
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Nakazawa Hiroshi
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku Univ.
-
Hattori Takeo
Faculty Of Engineering Musashi Institute Of Technology
-
Aratani Takashi
Shin-etsu Chemical Co. Ltd.
-
Teramoto Akinobu
University Of Tohoku New Industry Creation Hatchery Center (niche)
-
Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
-
Teramoto Akinobu
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe), Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan
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