減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)_2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発(プロセス科学と新プロセス技術)
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概要
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減圧雰囲気下で2MHzICPプラズマ源および2つのCa(OH)_2/CaO剤充填筒で構成し、かつフッ素酸排水処理を必要としないフロロカーボン除去システムを開発した。2MHzICPプラズマはフロロカーボンを分解し、Ca(OH)_2/CaO剤充填筒は活性なフッ素化物を固定する。CF_4導入量200cc/min、プラズマ出力3kWおよび圧力300Paの条件で、フロロカーボンの中で最も安定なガスの1つであるCF_4を99.9%の効率で除去することができた。この結果をCO_2換算排出量で評価し、残存CF_4に起因する排出量(0.57L/min)に対してプラズマ源消費電力に起因する排出量(12.35L/min)が非常に大きいことを明らかにした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-27
著者
-
渡辺 高行
宇部マテリアルズ（株）
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
平山 昌樹
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
鈴木 克昌
大陽日酸株式会社
-
石原 良夫
大陽日酸株式会社
-
迫田 薫
大陽日酸株式会社
-
白井 泰雪
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
渡辺 高行
宇部マテリアルズ株式会社
-
渡辺 高行
宇部マテリアルズ(株)
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
-
白井 泰雪
東北大未来科学技術共同研究センター
-
石原 良夫
大陽日酸株式会社電子機材事業本部事業戦略推進部
-
寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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