SiO_2/Si界面における構造遷移層の酸化手法依存性(プロセス科学と新プロセス技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 酸素ラジカルおよび酸素分子で形成したSiO_2膜について、Si 2ρからの軟X線励起角度分解光電子スペクトルを測定し、SiO_2/Si界面近傍の組成遷移層の化学結合状態の違いを明らかにした。酸素ラジカルにより形成した酸化膜では、1) Si^<2+>とSi^<3+>は同じ層に存在し、2) Si^<1+>はSi^<2->とSi^<3+>層より下の層に存在する。一方で、酸素分子により900℃で形成した酸化膜では、1) Si^<1+>とSi^<2+>は同じ層に存在し、2) Si^<1+>とSi^<2+>はSi^<3+>層よりも下の層に存在する。

• 2011-10-13

著者

• 室 隆桂之

  JASRI

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 室隆 桂之

  SPring-8 JASRI

• 大見 忠弘

  東北大学

• 大見 忠弘

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

• 室 隆桂之

  高輝度光科学研究センター

• 室 桂隆之

  JASRI SPring-8

• 服部 健雄

  東北大学未来情報産業共同研究センター

• 諏訪 智之

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 服部 健雄

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 熊谷 勇喜

  東北大学大学院工学研究科

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター

• 服部 健雄

  東京工業大学フロンティア研究機構

• Ohmi Tadahiro

  The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University

• Ohmi Tadahiro

  Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University:(present Addre

• 木下 豊彦

  高輝度光科学研究センター

• Ohmi T

  Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn

• 室 隆桂之

  Jasri/spring-8

• 服部 健雄

  東京工大 フロンティア研究機構

• 室隆 桂之

  高輝度光科学研究センター

• 室 隆桂之

  SPring-8-JASRI

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学共同センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

• 諏訪 智之

  東北大学未来科学共同センター

• 木下 豊彦

  高輝度光科学研究セ

• 木下 豊彦

  高輝度光科学光科学研究センター

関連論文

• 27pPSA-28 2次元的電気伝導を示すペロブスカイト型Mn酸化物のバルク敏感光電子分光(27pPSA 領域8ポスターセッション(低温I(Cu,Mn,Co,Ru,V酸化物)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 20pGJ-1 光電子顕微鏡によるNiO反強磁性磁壁内スピン構造の観察(20pGJ 磁壁,磁化ダイナミクス,領域3(磁性,磁気共鳴))
• 21aHK-2 ホーランダイト型バナジウム酸化物のバルク電子状態(21aHK 光電子分光(超伝導・磁性・強相関系)・MCD・X線発光,領域5(光物性))
• 23aPS-23 軟X線発光分光によるリチウムアミドの電子状態の研究(23aPS 領域5ポスターセッション(光電子分光・光誘起相転移等),領域5(光物性))
• 22aXK-2 Au(788)表面上に構築した3d遷移金属ナノ構造の磁性(表面磁性,表面界面電子物性,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 18aTB-2 Fe単原子ワイヤーの電子状態と磁性(領域3,領域9合同 2.表面・界面磁性,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 20aPS-7 Au(788)表面上に構築した3d遷移金属ナノ構造の磁性(ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 23aGE-1 Cr_8O_を原料に用いたCrO_2薄膜の作製とその表面特性評価(23aGE 新物質など1,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 20aGE-2 Rh_S_超伝導体の光電子分光(20aGE 銅酸化物・その他の超伝導,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 27aPS-16 軟X線発光分光によるアルミ水素化物の電子状態の研究(領域5ポスターセッション,領域5,光物性)
• 26pXA-4 軟X線領域における水吸着Si(OOl)表面からのSi 2p 光電子脱出深度の測定(光電子分光(表面・薄膜・低次元物質II),領域5,光物性)
• 28aTJ-11 表面まで金属特性を示すCrO_2薄膜の作製(フラストレーション系他,領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 25pRL-12 軟X線光電子分光で見た鉄カルコゲナイド系超伝導体の電子状態(鉄系超伝導体2(光電子分光),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 29pVA-6 MnO_2多形の光電子分光(29pVA 光電子分光(表面・薄膜・低次元物質等),領域5(光物性))
• 25aRL-10 マルチフェロイックCuFe_Ni_xO_2のバルク敏感高エネルギー光電子分光(マルチフェロイクスI,領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 27pYE-8 グラファイトインターカレーション超伝導体CaC_6の共鳴光電子分光(グラフェン電子物性(形成と評価),領域7,分子性固体・有機導体)
• 30pTC-7 FeSe超伝導体の電子状態(30pTC 鉄砒素超伝導体6(光電子分光,STM),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 21aWF-4 高分解能光電子分光によるグラファイトインターカレーション超伝導体C_6Caの電子状態(21aWF フラーレン・超伝導,領域7(分子性固体・有機導体))
• 23pYB-14 空間反転対称性のない超伝導体Mg_Ir_B_のレーザー光電子分光(23pYB その他超伝導,領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 22pWH-10 Li_2Pt_3Bの軟X線光電子分光及び電子線発光分光(パイロクロア・その他超伝導,領域8,強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 28aYD-3 光電子分光による芳香族多環縮合炭化水素ピセンの電子状態(新物質・新物性・超伝導I,領域7,分子性固体・有機導体)
• 29pVA-1 TiO_2(100)基板上に作製したCrO_2薄膜表面の光電子分光測定(29pVA 光電子分光(表面・薄膜・低次元物質等),領域5(光物性))
• 26pXA-12 X線磁気二色性,線二色性,及び光電子顕微鏡を用いたNiO(100)における反強磁性磁区構造の詳細観察(新分光法,MCD/MLD,領域5,光物性)
• 27aPS-8 FeSeの軟X線光電子分光II(領域5ポスターセッション,領域5,光物性)
• 25aTJ-9 CeRh_3B_2の光電子分光の直線偏光依存性と電子軌道の異方的占有(f電子一般,領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 25aRA-8 軟X線光電子分光によるMn_3Cu_Ga_xNの電子状態の研究(化合物磁性等,領域3,磁性,磁気共鳴)
• 27aPS-34 CeT_2Ge_2(T=Ni,Cu)の軟X線光電子分光(27aPS 領域8ポスターセッション(f電子系等),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 27aTL-9 FeSeの軟X線光電子分光(27aTL 遷移金属化合物,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 21pPSA-14 Fe/NiO(100)界面における交換結合状態(21pPSA 領域3ポスターセッション,領域3(磁性,磁気共鳴))
• 24aTK-10 放射光パルスとフェムト秒レーザーパルス同期による時間分解XMCD-PEEM(光電子分光・MCD,領域5,光物性)
• 21pPSB-75 Pdナノ粒子のX線磁気円二色性実験(領域3ポスターセッション(フラストレーション,磁気共鳴,実験技術,微小領域),領域3,磁性,磁気共鳴)
• 22aPS-72 反強磁性NiO表面上のFe超薄膜の磁化特性(領域3ポスターセッション(薄膜・人工格子,スピングラス,量子スピン系),領域3,磁性,磁気共鳴)
• 24aXJ-4 軟X線角度分解光電子分光によるCa_Sr_RuO_4のフェルミ面3次元構造および表面電子状態(Ru系,領域8,強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 19pWF-6 Ca_Sr_RuO_4の軟X線角度分解光電子分光によるバルクフェルミ面・スペクトル形状(19pWF Ru系,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 22aPS-12 ハーフメタル特性を示すホイスラー化合物Co_2CrGaの軟X線光電子分光(領域3ポスターセッション(f電子,遍歴,化合物,酸化物,磁性一般,表面・界面),領域3,磁性,磁気共鳴)
• 23aPS-42 Ce(Fe_Co_)_2の内殻吸収磁気円二色性(23aPS 領域3ポスターセッション(磁性),領域3(磁性,磁気共鳴))
• 27pPSA-33 Mn_Co_GaCの磁気円二色性および光電子分光(27pPSA 領域3ポスターセッション 薄膜・人工格子磁性,表面・界面磁性,微小領域磁性,遍歴磁性,化合物磁性,f電子系磁性磁性,領域3(磁性,磁気共鳴))
• 22aTQ-3 重い電子系CeRu_2Si_2の軟X線角度分解光電子分光によるバンド構造の温度変化(光電子分光・放射光真空紫外分光,領域5,光物性)
• 21aPS-32 軟 X 線 MCD による GdNi_2 のラーベス相金属間化合物の磁性電子状態の温度依存性
• 28pXA-6 Sm_Y_xSの金属絶縁体転移とバルク光電子分光
• 9 円偏光軟X線による不斉分解反応の可能性の検討 : 固相アミノ酸の軟X線自然円二色性スペクトル測定(一般講演,第35回学術講演会講演要旨集)
• 19aWF-5 高濃度ボロンドープダイヤモンドの軟X線角度分解光電子分光(19aWF ドープダイヤモンド,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 19pYD-9 VO_2の軟X線光電子分光による金属-絶縁体転移の観測(領域5,領域8合同招待講演,領域5(光物性))
• 28pRF-10 V_2O_3の軟X線光電子分光と動的平均場理論による考察(28pRF 光電子分光・逆光電子分光,領域5(光物性))
• 21pYG-1 ホランダイト型チタン酸化物K_xTi_8O_の電子状態(21pYG 放射光・光電子分光(酸化物),領域5(光物性))
• 25pTD-5 軟X線吸収及び発光分光法によるSiON/SiC(0001)超薄膜の元素選択的電子状態の研究(表面界面電子物性,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 29aWB-8 銅酸化物超伝導体 Nd_Ce_XCuO_4 (x=0.15) の高エネルギー角度分解光電子分光
• 22pPSB-13 BL17SU/SPring-8におけるLEEM/PEEM成果報告(領域9ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 18pZA-12 CeRu_2X_2(X=Si,Ge)の硬X線および軟X線光電子分光(光電子分光(超伝導体・強相関系),領域5,光物性)
• 26aZR-8 重い電子系CeRu_2Si_2の軟X線角度分解光電子分光によるバルクフェルミ面の観測(26aZR 重い電子系,四極子,領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 27pTC-14 CeRu_2Ge_2の軟X線角度分解光電子分光によるフェルミ面の観測(27pTC 価数揺動系,重い電子系,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 17aPS-78 高分解能共鳴光電子分光によるCeSiのバルク4f電子状態
• 26pXP-8 放射光PEEMを用いた,NiOの高分解能Ni-L端吸収スペクトルとMLD(領域5, 領域3, 領域8合同招待講演,領域5(光物性))
• 23aXC-7 Sr_Ca_xVO_3の共鳴光電子分光
• 22aXC-12 CeMX(M=Pd, Pt, X=P, As, Sb)の高分解能共鳴光電子分光
• 23aM-11 Sr_Ca_xVO_3の高分解能光電子分光
• 22pM-7 反強磁性体CeRh_2Si_2の高分解能Ce3d-4f共鳴光電子分光
• 23pPSA-11 高エネルギー高分解能共鳴光電子分光でみた重い電子系CeRu_2X_2(X=Si, Ge)及び価数揺動系CeRu_2のバルクCe4f電子状態
• 25aYC-13 CePtX(X=P, As)の高分解能共鳴光電子分光
• 22pM-9 層間化合物Fe_TiS_2の内殻吸収磁気円二色性
• 24pXA-1 高濃度ホウ素ドープダイヤモンドの軟X線光電子分光(ダイヤモンド・Si超伝導,領域8,強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 24aPS-43 ホランダイト型マンガン酸化物(NH_4)_xMn_8O_の合成と物性II(24aPS ポスターセッション(低温),領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 22pPSA-2 希土類価数揺動物質の局所帯磁率
• 24pYC-18 LaFe_4P_, CeFe_4P_およびPrFe_4P_の内殻吸収MCDの比較
• 21aTK-4 ホランダイト型マンガン酸化物(NH_4)_xMn_8O_の電子状態(光電子分光(超伝導体・強相関係),領域5,光物性)
• 26aYB-10 2次元準結晶Al-Co-NiとAl-Co-Cuの局所クラスターと遷移金属配置(準結晶,領域6,金属,超低温,超伝導・密度波)
• 17pRG-6 YbXCu_4(X=In,Cd,Mg)の高分解能光電子分光
• 17pRG-8 Sr_2RuO_4の高エネルギー角度分解光電子分光
• 17aRG-3 強磁性ホイスラー合金Ni_2MnZ (Z=Sn,In)の軟X線内殻吸収磁気円二色性
• 酸素ラジカルを用いて形成したSiO_2/Si界面における組成遷移と価電子帯オフセットの基板面方位依存性(プロセス科学と新プロセス技術)
• 24aRC-6 鉄系超伝導体FeSeのバルク敏感光電子分光(24aRC 光電子分光(超伝導・磁性・強相関),領域5(光物性))
• 20pPSA-44 Yb_xLu_B_ (x=0.75,1) における光電子分光スペクトルの温度変化とピークシフト
• 30aYB-8 強磁性ホイスラー合金Ni_2MnGaの軟X線内殻光吸収磁気円二色性
• 25aYD-12 強磁性ホイスラー合金Ni_2MnGaの高分解能光電子分光と磁気円二色性測定
• 20aPS-63 窒素飽和吸着銅 (001) 表面上におけるコバルトドットの XAS と MCD
• 24aWG-6 軟X線角度分解光電子分光によるCeTIn_5(T=Rh,Ir)の3次元フェルミ面構造観測(24aWG Ce系超伝導・理論,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 24aWB-10 Cr_8O_を原料に用いた閉鎖系化学気相成長法によるCrO_2単結晶薄膜の作製(24aWB 物質探索・合成,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 24aWB-9 閉鎖系化学気相成長法によりCr_8O_原料から作製したCrO_2薄膜のバルクおよび表面特性評価(24aWB 物質探索・合成,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 22pM-6 Gd-Co多層膜の内殻吸収MCD II
• 24pYC-19 Gd-Coの多層膜の内殻吸収MCD
• 24aWJ-8 軟X線光電子分光によるYbFe_2O_4の電子状態(24aWJ マルチフェロイクスなど,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 17pRG-10 CeRu_2Si_2のCe 3d-4f共鳴角度分解光電子分光でみたバルク電子状態
• 30pPSA-16 ホイスラー型 Fe_V_Al の価電子帯電子構造
• 23aXC-9 CeNiの高分解能Ce3d-4f共鳴光電子分光
• 23pRG-3 放射光軟X線角度分解光電子分光による微小単結晶測定法の開発(23pRG 光電子分光・放射光真空紫外分光・MCD・X線発光,領域5(光物性))
• 24aPS-28 高輝度放射光による微小単結晶試料の光電子分光法(24aPS 領域8ポスターセッション(低温II(Mn・Co・Ru化合物など,パイロクロア)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 24pxA-2 軟X線光電子分光によるn型リンドープダイヤモンドの電子構造の研究(ダイヤモンド・Si超伝導,領域8,強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 28aXA-2 強磁性ホイスラー合金Ni_2MnSnの軟X線内殻磁気円二色性
• 20aTA-3 Co ドットの X 線吸収スペクトル
• 31aZE-8 Co/N/Cu(001) 表面・界面における XAS・MCD
• 24aPS-169 Au(788)微傾斜表面上におけるFeナノ構造の磁性(表面・界面, 結晶成長,領域9(表面・界面, 結晶成長))
• 18aTB-2 Fe単原子ワイヤーの電子状態と磁性(18aTB 領域3,領域9合同 2.表面・界面磁性,領域3(磁性,磁気共鳴))
• 26aYH-3 Au(788)表面上に形成した3d遷移金属ナノ構造の磁性(26aYH 領域3,領域9合同 表面・界面磁性,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 26aYH-3 Au(788)表面上に形成した3d遷移金属ナノ構造の磁性(26aYH 領域3,領域9合同 表面・界面磁性,領域3(磁性,磁気共鳴))
• 22pZN-11 パイロクロア型Mo酸化物R_2Mo_2O_7(R=Sm, Gd, Tb, Y)の光電子分光とMCD
• 21aWB-7 X 線角度分解光電子分光による CaB_6 の電子構造
• 28pXG-6 CaB_6 の X 線角度分解光電子分光
• 22pM-8 ホイスラー合金CO_2YSn(Y=Ti,Nb,Zr)の磁気円二色性
• 24pPSA-13 CeCo_B_xの共鳴光電子分光とCe3d→4f,Co2p→3d磁気円二色性
• 28aHB-7 YbCu_2X_2 (X=Si, Ge)の硬X線及び軟X線光電子分光によるYb 4f電子状態温度変化の研究(28aHB 放射光真空紫外分光・MCD・光電子分光(強相関係・スピン分解・理論等),領域5(光物性))

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク