2段シャワープレート型マイクロ波プラズマエッチャーを用いた多層膜の連続エッチング
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概要
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RLSA (Radial Line Slot Antenna)を用いたマイクロ波プラズマエッチャーは、プロセスガスの種類、プロセス圧力、ウエハの種類及びパターン、セルフバイアスの状態に関わらずプロセス均一性を維持することができる。これにより、1つのチャンバで複数の膜を連続してエッチングすることが可能となった。本報告では、2段シャワープレート型のRLSAマイクロ波プラズマエッチャーを用いて、1つのチャンバでレジスト/BARC/SiO_2 Hard Mask/Poly-Si/SiO_2/Si基板からなるPoly-Siゲートパターンの多層膜を連続エッチングした結果について報告する。
- 2006-09-28
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
平山 昌樹
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
後藤 哲也
東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門
-
野沢 俊久
東京エレクトロン技術研究所(株)
-
池永 和幸
東北大学 未来科学技術研究館
-
後藤 哲也
東北大学 未来科学技術研究館
-
寺本 章伸
東北大学 未来科学技術研究館
-
平山 昌樹
東北大学 未来科学技術研究館
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