直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性
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概要
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- 2006-06-26
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
-
野平 博司
Musashi Institute Of Technology
-
須川 成利
東北大学工学研究科技術社会システム
-
池永 英司
高輝度光科学研究センター
-
服部 健雄
武蔵工業大学工学部
-
池永 英司
(財)高輝度光科学研究センター
-
樋口 正顕
東北大学工学研究科
-
品川 誠治
武蔵工業大学工学部
-
野平 博司
武蔵工業大学工学部
-
樋口 正顕
株式会社東芝
-
服部 健雄
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
服部 健雄
東京工業大学フロンティア研究機構
-
服部 健雄
武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター
-
品川 盛治
武蔵工業大学
-
Nohira Hiroshi
Faculty Of Engineering Musashi Institute Of Technology
-
Nakazawa Hiroshi
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
服部 健雄
東京工大 フロンティア研究機構
-
服部 健雄
武蔵工業大学
-
池永 英司
財団法人高照度光科学研究センター
-
寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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