樋口 正顕 | 東北大学工学研究科
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概要
関連著者
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寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
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須川 成利
東北大学工学研究科技術社会システム
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池永 英司
高輝度光科学研究センター
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樋口 正顕
東北大学工学研究科
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樋口 正顕
株式会社東芝
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服部 健雄
東北大学未来科学技術共同研究センター
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服部 健雄
東京工業大学フロンティア研究機構
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服部 健雄
東京工大 フロンティア研究機構
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池永 英司
財団法人高照度光科学研究センター
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寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
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大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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野平 博司
Musashi Institute Of Technology
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池永 英司
(財)高輝度光科学研究センター
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品川 誠治
武蔵工業大学工学部
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野平 博司
武蔵工業大学工学部
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品川 盛治
武蔵工業大学
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Nohira Hiroshi
Faculty Of Engineering Musashi Institute Of Technology
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Nakazawa Hiroshi
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
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服部 健雄
武蔵工業大学工学部
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服部 健雄
武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター
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服部 健雄
武蔵工業大学
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池永 英司
Jasri/spring-8
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小林 啓介
物材機構
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服部 健雄
東北大学未来情報産業共同研究センター
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池永 英司
JASRI SPring-8
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小林 啓介
高輝度光科学研究センター
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池永 英司
Crest・jst
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小村 政則
東北大学工学研究科
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荒谷 崇
信越化学工業株式会社
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荒谷 崇
東北大学工学研究科技術社会システム専攻
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平山 昌樹
東北大学未来科学技術共同研究センター
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Kobayashi Keisuke
JASRI SPring8
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小村 政則
東北大学大学院工学研究科
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Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
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池永 英司
高輝度光科学研究センター:科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業
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須川 成利
JASRI SPring8
著作論文
- NH^*ラジカルを用いて形成した直接窒化シリコン窒化膜の界面構造と界面準位密度(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
- マイクロ波励起プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の形成
- 直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性,AWAD2006)
- 直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性
- 直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- 直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性