荒谷 崇 | 信越化学工業株式会社

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概要

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• 同名の論文著者
• 信越化学工業株式会社の論文著者

関連著者

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 須川 成利

  東北大学 大学院 工学研究科

• 池永 英司

  高輝度光科学研究センター

• 池永 英司

  (財)高輝度光科学研究センター

• 樋口 正顕

  株式会社東芝

• 荒谷 崇

  信越化学工業株式会社

• 服部 健雄

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 服部 健雄

  東京工業大学フロンティア研究機構

• Ohmi T

  Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn

• 服部 健雄

  東京工大 フロンティア研究機構

• 池永 英司

  財団法人高照度光科学研究センター

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学共同センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

• 野平 博司

  Musashi Institute Of Technology

• 須川 成利

  東北大学大学院工学研究科

• 池永 英司

  Crest・jst

• 野平 博司

  武蔵工業大学工学部

• 服部 健雄

  東北大学未来情報産業共同研究センター

• Nohira Hiroshi

  Faculty Of Engineering Musashi Institute Of Technology

• Nakazawa Hiroshi

  New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University

• 荒谷 崇

  東北大学大学院工学研究科

• 樋口 正顕

  東北大学大学院工学研究科

• 池永 英司

  高輝度光科学研究センター:科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業

• 池永 英司

  Jasri/spring-8

• 大見 忠弘

  東北大学

• 須川 成利

  東北大学工学研究科技術社会システム

• 樋口 正顕

  東北大学工学研究科

• 品川 誠治

  武蔵工業大学工学部

• 諏訪 智之

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 牛尾 二郎

  株式会社日立製作所

• 荒谷 崇

  東北大学工学研究科技術社会システム専攻

• 平山 昌樹

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 濱田 龍文

  東北大学大学院工学研究科

• 服部 武雄

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター

• Ohmi Tadahiro

  Department Of Electronic Engineering Tohoku University

• Ohmi Tadahiro

  The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University

• 品川 盛治

  武蔵工業大学

• 諏訪 智之

  東北大学未来科学共同センター

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著作論文

• 角度分解光電子分光法によるゲート絶縁膜/シリコン基板界面に形成される構造遷移層に関する研究(プロセス科学と新プロセス技術)
• マイクロ波励起プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の形成
• プラズマ窒化膜/Siの界面構造、サブナイトライド、価電子帯構造(ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
• Si(100),(110)面上の極薄Si_3N_4-Si界面構造とその電気的特性

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