MOSFETにおけるランダムテレグラフシグナルの統計的評価方法(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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概要
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MOSFETにおけるRandom Telegraph Signal (RTS)の振幅,時定数等,重要なパラメータは一つ一つの特性はばらつきが大きいため,それらのパラメータの特徴を捉えるためには,大規模な標本に基づく統計的評価が不可欠である.そこで,評価手法であるアレイ状のテストパターンの概要を述べ,それを用いてRTSの特徴量を短時間に多数個測定し,それらを誘起するトラップのエネルギ分布を統計的に解析した結果を報告する.
- 2010-11-04
著者
-
寺本 章伸
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
-
大見 忠弘
東北大学
-
大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
阿部 健一
東北大学工学部
-
阿部 健一
日本大学工学部情報工学科
-
阿部 健一
東北大学大学院工学研究科
-
阿部 健一
東北大
-
須川 成利
東北大学工学研究科技術社会システム
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター
-
阿部 健一
東北大学大学院工学研究科技術社会システム専攻
-
Teramoto A
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
阿部 健一
東北大 大学院工学研究科
-
阿部 健一
東北大学工学部電気系
-
阿部 健一
東北大学工学部電気工学科
-
Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University:(present Addre
-
Ohmi T
Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn
-
Teramoto Akinobu
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
寺本 章伸
東北大学未来科学共同センター
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
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