RTN測定の高精度・高速化技術とRTN特性に強い影響度を示すプロセス条件 (情報センシング)

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概要

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著者

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 須川 成利

  東北大学大学院工学研究科

• 阿部 健一

  東北大学大学院工学研究科 電気・通信工学専攻

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