ラジカル酸化による Poly-Si TFTの高性能化に関する研究

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概要

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• 2003-10-20

著者

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 須川 成利

  東北大学 大学院 工学研究科

• 須川 成利

  東北大学大学院工学研究科

• 平山 昌樹

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 石井 克治

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 今泉 文伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 林 朋彦

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学共同センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

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