非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの位置決め制御における摩擦補償法
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概要
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This research has aimed at the control system development of a non-resonant ultrasonic motor (SPIDER)-driven precision stage. SPIDER is newly developed as an actuator to achieve the positioning performance required for next generation. In this paper, friction compensation is firstly realized considering integral effect of controllers. Next, the compensation is achieved based on the adaptive friction observer. Moreover it is experimentally verified that the stick-slip phenomenon is prevented for an environmental change by the proposal technique, and a quick positioning in the scale resolution becomes possible.
- 2006-06-01
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大石 潔
長岡技術科学大学
-
大見 忠弘
東北大学
-
橋本 誠司
群馬大学
-
石川 赴夫
群馬大学
-
久保田 弘
熊本大学
-
小坂 光二
熊本大学
-
久保田 弘
熊本大学工学部
-
石川 赴夫
群馬大学大学院工学研究科電気電子工学専攻
-
橋本 誠司
群馬大学 工学部
-
小坂 光二
熊本大学大学院自然科学研究科
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