摩擦モデルに基づく非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
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概要
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- 2004-03-11
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大石 潔
長岡技術科学大学
-
大見 忠弘
東北大学
-
橋本 誠司
群馬大学
-
小坂 光二
熊本テクノロジー
-
石川 赴夫
群馬大学
-
久保田 弘
熊本大学
-
小坂 光二
熊本大学
-
久保田 弘
熊本大学工学部
-
橋本 誠司
群馬大学 工学部
-
大石 卓也
群馬大学
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