金属表面フッ化不動態皮膜の形成と特性
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概要
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フッ素ガスと金属表面との反応に関する研究は古くから行われていたが、形成するフッ化物皮膜を保護皮膜として扱った研究は少ない。半導体製造装置に使用されるステンレス鋼とアルミニウム材の表面とフッ素ガスとの反応を調査し、ステンレス鋼ではフッ化反応後の熱処理によりフッ素に対する耐性が現れた。またアルミニウム材とフッ素ガスとの反応では、材料に含まれるマグネシウムが反応に大きな影響を与えていることを明らかにした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-10-13
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学工学部
-
泉 浩人
ステラケミファ株式会社
-
櫻井 稔久
東北大
-
櫻井 稔久
東北大学未来科学技術研究センター
-
菊山 裕久
ステラケミファ株式会社 開発部
-
櫻井 稔久
東北大学工学部電子工学科
-
菊永 芳弘
ステラケミファ株式会社
-
川脇 理謁
ステラケミファ株式会社
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