櫻井 稔久 | 東北大学工学部電子工学科
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概要
関連著者
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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櫻井 稔久
東北大
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櫻井 稔久
東北大学未来科学技術研究センター
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櫻井 稔久
東北大学工学部電子工学科
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(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
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ステラケミファ株式会社
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高増 潔
東京大学大学院
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産業技術総合研究所
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三隅 伊知子
産総研
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権太 聡
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黒澤 富蔵
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藤本 俊幸
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東 康史
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(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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東北大学大学院工学研究科
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菊山 裕久
ステラケミファ株式会社 開発部
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高野 順
東北大学工学部電子工学科
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斉藤 祐司
東北大学工学部電子工学科
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藪根 辰弘
ステラケミファ株式会社研究部
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菊永 芳弘
ステラケミファ株式会社
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川脇 理謁
ステラケミファ株式会社
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科:(現)セイコーエプソン(株)生産技術開発本部
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小島 勇夫
産総研
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高増 潔
東大
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術研究センター
著作論文
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- 高密度Kr/O_2プラズマで低温成膜したシリコン酸化膜、高密度Kr/O_2プラズマ低温照射CVDシリコン酸化膜の膜質に関する研究
- 金属表面フッ化不動態皮膜の形成と特性