藤本 俊幸 | 産総研 計測標準部門
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概要
関連著者
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藤本 俊幸
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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藤本 俊幸
産総研 計測標準部門
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東京大学大学院工学系研究科
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小島 勇夫
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(財)日本品質保証機構計量計測部門
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(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
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坂井 裕之
Hoya(株)r&dセンター
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小島 勇夫
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高増 潔
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大見 忠弘
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著作論文
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- 走査型プロ-ブ顕微鏡を用いた金属超微粒子のキャラクタリゼ-ション
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- X線反射率法を用いたSIトレーサブルな膜厚評価 : 試料表面形状評価による不確かさ低減効果