東 康史 | (独)産業技術総合研究所計測標準研究部門

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  産業技術総合研究所

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  (独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室

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• 権太 聡

  産業技術総合研究所 計測標準研究部門 長さ計測科 幾何標準研究室

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• 小島 勇夫

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• 黒澤 富蔵

  (財)日本品質保証機構計量計測部門

• 櫻井 稔久

  東北大学工学部電子工学科

• 山岸 秀一

  (独)産業技術総合研究所計測標準研究部門

• 高辻 利之

  (独)産業技術総合研究所計測標準研究部門

• 渡部 司

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• 尾高 憲二

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• 小島 勇夫

  産総研

• 黒河 明

  産業技術総合研 計測フロンティア研究部門

• 高増 潔

  東大

• 高辻 利之

  (独)産業技術総合研究所

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

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著作論文

• 2806 測長 AFM を用いたナノ薄膜マイクロパターンの膜厚精密測定
• 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
• X線反射率法を用いたSIトレーサブルな膜厚評価 : 試料表面形状評価による不確かさ低減効果
• シリコン酸化膜の構造遷移層の密度分布解析

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