X線反射率法を用いたSIトレーサブルな膜厚評価 : 試料表面形状評価による不確かさ低減効果
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2007-09-10
著者
-
東 康史
産業技術総合研究所
-
藤本 俊幸
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
藤本 俊幸
産総研 計測標準部門
-
東 康史
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
山岸 秀一
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
高辻 利之
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
渡部 司
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
高辻 利之
(独)産業技術総合研究所
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