三枚合わせ法による平面度絶対校正アルゴリズム
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概要
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Absolute calibration of the reference flats installed in flatness interferometers is important to reduce measurement uncertainty and keep traceability of flatness measurement. A three flat test is a common method to derive absolute shape of flatness, but in the calculation process complicated least square calculations are required. A simple arithmetic formula is proposed to derive the absolute shape of the flat followed by experimental results to validate the formula and assess measurement uncertainty.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2006-11-05
著者
-
高辻 利之
産総研
-
尾藤 洋一
産総研
-
高辻 利之
産業技術総合研
-
尾藤 洋一
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
尾藤 洋一
産業技術総合研究所
-
大澤 尊光
産業技術総合研究所
-
古谷 涼秋
東京電機大学工学部
-
古谷 涼秋
東京電機大学
-
大澤 尊光
ドイツ国立物理工学研
-
尾藤 洋一
産業技術総合研
-
高辻 利之
(独)産業技術総合研究所
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