214 球面モータを用いたレーザ追尾式干渉計装置の開発
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概要
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Coordinate measuring machines (CMM) and robots in industry require accurate and easy calibration over a wide measuring-range. The new calibration instrument (laser tracking interferometer) we produced makes use of a spherical surface motor for laser tracking mechanism. This enabled wide-range measurement for middle size CMM because the movable angle of the spherical surface motor is so wide. In this paper, we refer to the accuracy of the new laser tracking interferometer based on our experiment.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-04-18
著者
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