低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価
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概要
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Evaluation of the uncertainty for the measurement of the low thermal expansion glass gauge blocks by optical interferometry is presented. The thermal expansion coefficient of the evaluated glass gauge block is about 140 times smaller than that of the steel gauge block. We mainly evaluated the uncertainty of the wringing and the measurement of the excess fraction part of interference fringe order. The combined standard uncertainty of the glass gauge block is about 36nm in 1000mm gauge block. This value of uncertainty is almost half of that of the steel gauge blocks.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2005-05-05
著者
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高辻 利之
産総研
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尾藤 洋一
産総研
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高辻 利之
産業技術総合研
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尾藤 洋一
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
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尾藤 洋一
産業技術総合研究所
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大澤 尊光
産業技術総合研究所
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大澤 尊光
ドイツ国立物理工学研
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尾藤 洋一
産業技術総合研
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