低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Evaluation of the uncertainty for the measurement of the low thermal expansion glass gauge blocks by optical interferometry is presented. The thermal expansion coefficient of the evaluated glass gauge block is about 140 times smaller than that of the steel gauge block. We mainly evaluated the uncertainty of the wringing and the measurement of the excess fraction part of interference fringe order. The combined standard uncertainty of the glass gauge block is about 36nm in 1000mm gauge block. This value of uncertainty is almost half of that of the steel gauge blocks.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2005-05-05
著者
-
高辻 利之
産総研
-
尾藤 洋一
産総研
-
高辻 利之
産業技術総合研
-
尾藤 洋一
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
尾藤 洋一
産業技術総合研究所
-
大澤 尊光
産業技術総合研究所
-
大澤 尊光
ドイツ国立物理工学研
-
尾藤 洋一
産業技術総合研
関連論文
- 21aBH-12 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XII(21aBH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 10pSE-1 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XI(重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 23aSF-5 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画X(23aSF 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 24pZW-5 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画IX(重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22aZH-1 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XIII(22aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 27pSG-7 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XII(27pSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 21aSG-1 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XI(21aSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 3136 ウェッジアーティファクトを用いたギヤチェッカー検査法(S34-4 伝動装置の基礎と応用(4) 歯車の形状解析,ラック&ピニオン,その他,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2209 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの開発(歯車の設計・性能評価,一般講演)
- 光コムを用いた時間・周波数標準に基づく精密長さ計測
- 28pTG-3 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画X(28pTG 宇宙物理・重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 三枚合わせ法による平面度絶対校正アルゴリズム
- 低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価
- 日本実験棟「きぼう」
- 波長走査干渉法と位相シフト法を用いた半導体マスクガラスの光学的厚さ分布の計測
- 既知のかたよりを補正しない場合の不確かさ評価に関する一考察 : ブロックゲージ比較測定法を例として
- 干渉計測
- 3本の安定化レーザを用いた長尺ブロックゲージ干渉計の開発
- 長さ標準とトレーサビリティー : ものさしは時間につながっている
- ナノスケールものづくりのためのナノスケール標準
- 座標測定機校正における測定戦略の最適化
- 214 球面モータを用いたレーザ追尾式干渉計装置の開発
- 校正された器物による三次元測定の不確かさ算出
- レーザトラッキングシステムを用いたCMMの校正
- 314 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの研究(OS05-1 歯車の検査I)
- レーザ干渉変位計によるインボリュート形状の精密測定法(第1報) : 測定装置と基礎特性評価
- 5129 ギヤチェッカーの検査における誤差要因の影響評価および校正法 : VGCによる評価(S63-5 振動(1),S63 伝動装置の基礎と応用)
- 14aSH-9 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XIII(14aSH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- euspen International Topical Conference報告
- 高精度ステップゲージ測定機の性能評価(1)
- 三次元幾何標準の動向
- ボールアーティファクトによる歯形測定精度の評価 : 国家標準にトレーサブルなボール中心間距離測定装置の開発
- 歯形精度保証体系 : 検査装置の校正(O.S.04-2 歯車の検査(2))
- バーチャルギヤチェッカー(VGC)による歯車測定機精度検定法 : 基本構想の提案とバーチャルギヤチェッカーの構築(O.S.04-2 歯車の検査(2))
- Gravure&Interview 精密工学の最前線 重力波検出技術が開く世界--東京大学 宇宙線研究所
- Dimensional CT装置を用いた幾何学量計測 (特集 三次元計測における光学と機械の融合)
- インターネットを利用した座標測定機のトレーサビリティ体系構築
- ものづくり産業を支える高精度三次元形状測定--計量トレーサビリティ体系の構築と標準化 (特集 計測標準フォーラム合同講演会)
- ものづくり産業を支える高精度三次元形状測定--計量トレーサビリティ体系の構築と標準化
- 創立75周年記念特集号の発刊にあたって(創立75周年記念)
- 計測標準(はじめての精密工学)
- 2軸球面モータ型レーザトラッカの基本性能(S50-2 アクチュエータシステム(2),S50 アクチュエータシステム)
- 多次元ドライブシステムの応用(1) : 高精度3次元座標計測機(多次元ドライブシステム)
- 213 レーザー追尾システム用反射ミラー駆動装置の開発
- サブミクロンの測定精度を有する小型2軸球面モータ型レーザ追尾距離測定装置の開発
- 2906 小型超精密三次元座標測定機の開発(第1報)レーザトラッキングシステムの基本性能(S63 アクチュエーターシステム)
- 1A1-S-084 レーザトラッカ用小型球面モータの開発(アクチュエータの機構と制御1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 干渉計測
- 大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定
- 大口径平面度干渉計の2国間比較
- 大口径平面度干渉計の製作
- ステップゲージ校正用干渉式三次元測定機の開発
- 2次元幾何ゲージの校正とその不確かさ
- 高精度ステップゲージ測定機のプロービングと環境評価
- 首振り式レーザトラッカによる座標測定
- 高精度ステップゲージ測定機の開発
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題 : ボールプレート2国間国際比較を通して
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題
- 干渉測定による一次元ボールプレートの値付け
- 既知のかたよりを補正しない場合の不確かさ評価 (第2報)
- 重力波検出技術が開く世界
- 球状キャッツアイの製作
- 日本とオーストラリアによるボールプレートの国際比較
- 干渉三次元測定機によるステップゲージの校正
- ボールプレートの校正における不確かさについて
- 一次元ボールプレートの開発
- 114 モンテカルロ法を用いた平面度の不確かさ評価におけるPV値の分布の影響(若手優秀講演フェロー賞対象講演(4))
- 21305 擬似平面を用いたモンテカルロ法による平面度の不確かさ評価法(OS13 計測・試験における不確かさ評価と応用(1),オーガナイズドセッション)
- 21303 比較測長器のかたよりに対する不確かさ評価の高精度化手法(OS13 計測・試験における不確かさ評価と応用(1),オーガナイズドセッション)
- 21307 球基準器を用いた歯車測定機のピッチ測定精度検査 : 基準器の設置に伴う測定不確かさ(OS13 計測・試験における不確かさ評価と応用(2),オーガナイズドセッション)
- 組織間のパワーを融合した総合力
- 光学式形状計測と接触式形状計測の対応に関するISO・JIS規格の動向 (特集 高度計測技術による金型の高精度・高品質化)
- 既知のかたよりを補正しない場合の不確かさ評価(第2報)
- 低熱膨張セラミックスを用いた座標測定機評価用基準器
- 幾何形状測定する産業用X線CT装置の動向
- Traceability System of Coordinate Measuring Machines Through Internet
- 26aBE-1 大型低温重力波望遠鏡(KAGRA)プロジェクトの現状(3)(26aBE 重力波(KAGRA),宇宙線・宇宙物理領域)