大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-10-01
著者
-
黒澤 富蔵
産業技術総合研究所
-
高辻 利之
産総研
-
高辻 利之
産業技術総合研
-
大澤 尊光
産業技術総合研究所
-
植木 伸明
富士写真光機(株)光学機器部
-
植木 伸明
富士写真光機
-
後藤 信介
(株)ONC
-
大澤 尊光
ドイツ国立物理工学研
関連論文
- 21aBH-12 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XII(21aBH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 10pSE-1 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XI(重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 23aSF-5 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画X(23aSF 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 振動加速度計の校正における電荷増幅器の影響
- 24pZW-5 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画IX(重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22aZH-1 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XIII(22aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 27pSG-7 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XII(27pSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 21aSG-1 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XI(21aSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 3136 ウェッジアーティファクトを用いたギヤチェッカー検査法(S34-4 伝動装置の基礎と応用(4) 歯車の形状解析,ラック&ピニオン,その他,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2209 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの開発(歯車の設計・性能評価,一般講演)
- 28pTG-3 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画X(28pTG 宇宙物理・重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 三枚合わせ法による平面度絶対校正アルゴリズム
- 低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価
- ナノスケールものづくりのためのナノスケール標準
- 30p-TC-5 酸化物超伝導体の遠赤外レーザ光吸収の波長依存性
- 座標測定機校正における測定戦略の最適化
- 214 球面モータを用いたレーザ追尾式干渉計装置の開発
- 校正された器物による三次元測定の不確かさ算出
- レーザトラッキングシステムを用いたCMMの校正
- 314 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの研究(OS05-1 歯車の検査I)
- レーザ干渉変位計によるインボリュート形状の精密測定法(第1報) : 測定装置と基礎特性評価
- 5129 ギヤチェッカーの検査における誤差要因の影響評価および校正法 : VGCによる評価(S63-5 振動(1),S63 伝動装置の基礎と応用)
- 2806 測長 AFM を用いたナノ薄膜マイクロパターンの膜厚精密測定
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- 14aSH-9 大型低温重力波望遠鏡(LCGT)計画XIII(14aSH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- euspen International Topical Conference報告
- 高精度ステップゲージ測定機の性能評価(1)
- 三次元幾何標準の動向
- ボールアーティファクトによる歯形測定精度の評価 : 国家標準にトレーサブルなボール中心間距離測定装置の開発
- 歯形精度保証体系 : 検査装置の校正(O.S.04-2 歯車の検査(2))
- バーチャルギヤチェッカー(VGC)による歯車測定機精度検定法 : 基本構想の提案とバーチャルギヤチェッカーの構築(O.S.04-2 歯車の検査(2))
- 触針式表面粗さ測定機を用いた段差測定における不確かさ評価
- シミュレーションを用いた表面粗さ計測おける不確かさ評価
- 31p-S-6 アセチレン分子のν_1+ν_2 振動バンドの飽和吸収分光
- 27a-R-6 非回折性CO_2レーザービーム
- ディメンジョンナル・ナノ・メトロロジーの世界動向と日本の戦略
- ナノメトロロジーの標準と国際比較(ナノメートルを測る技術)
- 光周波数逓倍混合器としてのM-I-M点接触ダイオ-ドの製作法
- ファブリ・ペロ-干渉計を用いたレ-ザの周波数ゆらぎの測定
- 沃素の飽和吸収を用いたHe-Neレ-ザの周波数安定化-1-
- Dimensional CT装置を用いた幾何学量計測 (特集 三次元計測における光学と機械の融合)
- 一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて
- インターネットを利用した座標測定機のトレーサビリティ体系構築
- 波長可変レーザーを用いた干渉計における段差測定の高感度化
- ものづくり産業を支える高精度三次元形状測定--計量トレーサビリティ体系の構築と標準化 (特集 計測標準フォーラム合同講演会)
- ものづくり産業を支える高精度三次元形状測定--計量トレーサビリティ体系の構築と標準化
- 創立75周年記念特集号の発刊にあたって(創立75周年記念)
- 計測標準(はじめての精密工学)
- 2軸球面モータ型レーザトラッカの基本性能(S50-2 アクチュエータシステム(2),S50 アクチュエータシステム)
- 多次元ドライブシステムの応用(1) : 高精度3次元座標計測機(多次元ドライブシステム)
- 213 レーザー追尾システム用反射ミラー駆動装置の開発
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- 白色干渉計による平面段差の高精度測定
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーディングの校正 : (第2報)測定の不確かさ
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーティングの校正 : (第1報)校正手順
- 光周波数計測によるリュードベリ定数の決定
- サブミクロンの測定精度を有する小型2軸球面モータ型レーザ追尾距離測定装置の開発
- 2906 小型超精密三次元座標測定機の開発(第1報)レーザトラッキングシステムの基本性能(S63 アクチュエーターシステム)
- 1A1-S-084 レーザトラッカ用小型球面モータの開発(アクチュエータの機構と制御1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 干渉計測
- 大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定
- 大口径平面度干渉計の2国間比較
- 大口径平面度干渉計の製作
- 波長標準とその精密計測への応用
- ステップゲージ校正用干渉式三次元測定機の開発
- 2次元幾何ゲージの校正とその不確かさ
- 高精度ステップゲージ測定機のプロービングと環境評価
- 首振り式レーザトラッカによる座標測定
- 高精度ステップゲージ測定機の開発
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題 : ボールプレート2国間国際比較を通して
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題
- 干渉測定による一次元ボールプレートの値付け
- フィゾー型干渉計によるレンズの透過波面収差計測 (特集 光学部品の高精度計測法)
- 球状キャッツアイの製作
- 日本とオーストラリアによるボールプレートの国際比較
- 干渉三次元測定機によるステップゲージの校正
- ボールプレートの校正における不確かさについて
- 一次元ボールプレートの開発
- 21307 球基準器を用いた歯車測定機のピッチ測定精度検査 : 基準器の設置に伴う測定不確かさ(OS13 計測・試験における不確かさ評価と応用(2),オーガナイズドセッション)
- 光学式形状計測と接触式形状計測の対応に関するISO・JIS規格の動向 (特集 高度計測技術による金型の高精度・高品質化)
- 低熱膨張セラミックスを用いた座標測定機評価用基準器
- 幾何形状測定する産業用X線CT装置の動向
- Traceability System of Coordinate Measuring Machines Through Internet