触針式表面粗さ測定機を用いた段差測定における不確かさ評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2002-11-05
著者
-
黒澤 富蔵
産業技術総合研究所
-
直井 一也
産総研
-
佐藤 浩志
産業技術総合研究所
-
直井 一也
産業技術総合研究所
-
赤津 利雄
産業技術総合研究所
-
赤津 利雄
産業総合技術研究所
-
佐藤 浩志
産業技術総合研
-
直井 一也
産業技術総合研
関連論文
- 振動加速度計の校正における電荷増幅器の影響
- 30p-TC-5 酸化物超伝導体の遠赤外レーザ光吸収の波長依存性
- 座標測定機校正における測定戦略の最適化
- 校正された器物による三次元測定の不確かさ算出
- レーザトラッキングシステムを用いたCMMの校正
- 5129 ギヤチェッカーの検査における誤差要因の影響評価および校正法 : VGCによる評価(S63-5 振動(1),S63 伝動装置の基礎と応用)
- 2806 測長 AFM を用いたナノ薄膜マイクロパターンの膜厚精密測定
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- 原子力発電給水流量計校正のための高レイノルズ数実流校正設備 : 設備の概要および特性(流体工学,流体機械)
- 原子炉用超音波流量計の測定の高精度化(第二報) : 平面二重曲り配管と整流装置およびトランスデューサの再取付の影響
- 原子炉用超音波流量計の測定の高精度化(第一報) : 立体三重曲り配管の影響
- 高精度ステップゲージ測定機の性能評価(1)
- ボールアーティファクトによる歯形測定精度の評価 : 国家標準にトレーサブルなボール中心間距離測定装置の開発
- 歯形精度保証体系 : 検査装置の校正(O.S.04-2 歯車の検査(2))
- バーチャルギヤチェッカー(VGC)による歯車測定機精度検定法 : 基本構想の提案とバーチャルギヤチェッカーの構築(O.S.04-2 歯車の検査(2))
- 触針式表面粗さ測定機を用いた段差測定における不確かさ評価
- シミュレーションを用いた表面粗さ計測おける不確かさ評価
- 31p-S-6 アセチレン分子のν_1+ν_2 振動バンドの飽和吸収分光
- 27a-R-6 非回折性CO_2レーザービーム
- ディメンジョンナル・ナノ・メトロロジーの世界動向と日本の戦略
- ナノメトロロジーの標準と国際比較(ナノメートルを測る技術)
- 光周波数逓倍混合器としてのM-I-M点接触ダイオ-ドの製作法
- ファブリ・ペロ-干渉計を用いたレ-ザの周波数ゆらぎの測定
- 沃素の飽和吸収を用いたHe-Neレ-ザの周波数安定化-1-
- ^1H核磁気共鳴法による水溶液中のエタノールの定量に関する国際比較
- 一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて
- インターネットを利用した座標測定機のトレーサビリティ体系構築
- 測定の不確かさを知っていますか?--不確かさ評価のための実践的な手法を学ぼう (特集:不確かさ(1))
- ベイズ的アプローチによる量子化誤差に伴う不確かさの決定
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- 表面粗さ測定における不確かさ(第1報) : 要因と見積もり
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーディングの校正 : (第2報)測定の不確かさ
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーティングの校正 : (第1報)校正手順
- 光周波数計測によるリュードベリ定数の決定
- 大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定
- 大口径平面度干渉計の2国間比較
- 大口径平面度干渉計の製作
- 波長標準とその精密計測への応用
- ステップゲージ校正用干渉式三次元測定機の開発
- 2次元幾何ゲージの校正とその不確かさ
- 高精度ステップゲージ測定機のプロービングと環境評価
- 首振り式レーザトラッカによる座標測定
- 高精度ステップゲージ測定機の開発
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題 : ボールプレート2国間国際比較を通して
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題
- 干渉測定による一次元ボールプレートの値付け
- レーザ干渉計を搭載した高精度表面粗さ測定機の開発
- レーザ干渉計を搭載した高精度表面粗さ測定機の開発
- Traceability System of Coordinate Measuring Machines Through Internet
- 論文特集号「センシングフロンティア」について