2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-09-01
著者
関連論文
- 振動加速度計の校正における外乱要因とその補正
- 振動加速度計の校正における電荷増幅器の影響
- 弾性波パルスの反射による微小構造体の運動発生
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第5報) : 圧電アクチュエーターの機能解析と速度向上
- 顕微作業用XYθ小型自走機械の開発(第4報) : 補正手法の改良と補正実験
- 多重光路型レーザ干渉計による高周波数用振動加速度校正装置の開発
- 振動加速度標準における電荷増幅器の校正法
- 3次元スキャニングを活用する設計生産技術の確立を目指して(グラビアとインタビュー精密工学の最前線)
- 2A1-N-083 微細ツールを搭載した超小型ロボットと焦点自動位置決め(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 2A1-N-082 XYθ型自走機械による精密ドリル加工システムの開発(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- Laboratoire de Physique et Metrologie des Oxcillateurs (振動子物理計測学研究所)
- 30p-TC-5 酸化物超伝導体の遠赤外レーザ光吸収の波長依存性
- 座標測定機校正における測定戦略の最適化
- 校正された器物による三次元測定の不確かさ算出
- レーザトラッキングシステムを用いたCMMの校正
- 2806 測長 AFM を用いたナノ薄膜マイクロパターンの膜厚精密測定
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- 高精度ステップゲージ測定機の性能評価(1)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第1報)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第1報) : 原理と動特性
- 2自由度静電駆動型ねじり振動子(第2報) -動作モデルと最適化-
- 三次元測長型AFMによる形状パラメータの測定と不確かさ
- ボールアーティファクトによる歯形測定精度の評価 : 国家標準にトレーサブルなボール中心間距離測定装置の開発
- 触針式表面粗さ測定機を用いた段差測定における不確かさ評価
- シミュレーションを用いた表面粗さ計測おける不確かさ評価
- 31p-S-6 アセチレン分子のν_1+ν_2 振動バンドの飽和吸収分光
- 27a-R-6 非回折性CO_2レーザービーム
- 原点対称形の一体型三次元微動機構 (第1報)-設計・試作-
- 新しい光周波数計測法 (光の極限測定技術(技術ノ-ト))
- ディメンジョンナル・ナノ・メトロロジーの世界動向と日本の戦略
- ナノメトロロジーの標準と国際比較(ナノメートルを測る技術)
- 光周波数逓倍混合器としてのM-I-M点接触ダイオ-ドの製作法
- ファブリ・ペロ-干渉計を用いたレ-ザの周波数ゆらぎの測定
- 沃素の飽和吸収を用いたHe-Neレ-ザの周波数安定化-1-
- インデンテーション試験における表面コンタクト点の補正方法
- 材料試験分野の計量標準に関する動向
- 一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて
- インターネットを利用した座標測定機のトレーサビリティ体系構築
- くぼみ数によるロックウェルCスケール硬さブロックの変形と硬さ測定値の関連について
- 地域公設試験研究機関における硬さ試験のニーズ調査 (硬さ特集 現場の硬さ試験・ノウハウ・ニーズ)
- 法規・規格 材料評価とその標準化
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- レーザ三辺測量における干渉計の配置と測定誤差に関する考察
- 自己キャリブレーション法を使ったレーザ三辺測量における干渉計の配置に関する制限
- 自己キャリブレーションを用いたレーザトラッキングによる三次元座標測定
- 原点対称形の一体型三次元微動機構(第2報)-特性評価-
- 表面粗さ測定における不確かさの評価 -APMPの国際比較測定-
- マイクロマシンにおける計測の信頼性
- 精密位置決めにおけるマイクロマシン技術
- マイクロ振動の測定・評価(マイクロ機構の測定・評価技術)
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第3報)
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーディングの校正 : (第2報)測定の不確かさ
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーティングの校正 : (第1報)校正手順
- ナノメトロロジーと標準
- 光周波数計測によるリュードベリ定数の決定
- マイクロ・ナノ技術によるMEMSのビジネス化を目指して
- 開口数のブリネルくぼみ直径測定への影響
- 大口径平面度干渉計によるウェファー用チャックの平面度測定
- 大口径平面度干渉計の2国間比較
- 大口径平面度干渉計の製作
- 材料評価と標準化の動向--国際整合性の立場から (特集 技術革新をリードする 工業材料キーワード30)
- 通商産業省工業技術院 計量研究所力学部 機械計測研究室
- 波長標準とその精密計測への応用
- ステップゲージ校正用干渉式三次元測定機の開発
- 2次元幾何ゲージの校正とその不確かさ
- 高精度ステップゲージ測定機のプロービングと環境評価
- 首振り式レーザトラッカによる座標測定
- 高精度ステップゲージ測定機の開発
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題 : ボールプレート2国間国際比較を通して
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題
- 干渉測定による一次元ボールプレートの値付け
- 衝撃加速度を用いた加速度計校正のラウンドロビンテスト--国家標準にトレーサブルな衝撃加速度校正システムの開発
- ビッカース圧子の角度測定に関する研究--微小平面に対する光学的角度測定顕微鏡装置の開発
- 球状キャッツアイの製作
- 日本とオーストラリアによるボールプレートの国際比較
- 干渉三次元測定機によるステップゲージの校正
- ボールプレートの校正における不確かさについて
- 一次元ボールプレートの開発
- Traceability System of Coordinate Measuring Machines Through Internet
- 3次元スキャニングを活用する設計生産技術の確立を目指して
- 第2世代の光周波数計測 (レ-ザ-計測特集号)
- 導波管CO2レ-ザ-の出力特性