原点対称形の一体型三次元微動機構 (第1報)-設計・試作-
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
権太 聡
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
-
黒沢 富蔵
計量研究所
-
谷村 吉久
計量研究所
-
権太 聡
産業技術総合研究所
-
権太 聡
計量研究所
-
宮本 紘三
(株)小坂研究所
-
谷村 吉久
産業技術総合研究所
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