ナノ領域トレーサビリティのためのナノスケール標準
スポンサーリンク
概要
著者
-
佐藤 理
産業技術総合研究所
-
菅原 健太郎
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
-
大澤 尊光
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
-
権太 聡
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
-
三隅 伊知子
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
-
佐藤 理
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
-
権太 聡
産業技術総合研究所
-
大澤 尊光
(独)産業技術総合研究所
関連論文
- 3136 ウェッジアーティファクトを用いたギヤチェッカー検査法(S34-4 伝動装置の基礎と応用(4) 歯車の形状解析,ラック&ピニオン,その他,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2209 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの開発(歯車の設計・性能評価,一般講演)
- 座標測定機のアーティファクト校正(第3報) : 校正後の測定の不確かさの推定
- ナノ領域トレーサビリティのためのナノスケール標準
- ナノスケールものづくりのためのナノスケール標準
- 原子間力顕微鏡による2次元回折格子の精密ピッチ計測
- 測長原子間力顕微鏡を用いた段差校正 (特集 段差計測)
- 314 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの研究(OS05-1 歯車の検査I)
- 2806 測長 AFM を用いたナノ薄膜マイクロパターンの膜厚精密測定
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定