ナノメトロロジーと標準
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 計測自動制御学会の論文
- 1999-12-10
著者
関連論文
- ナノ領域トレーサビリティのためのナノスケール標準
- ナノスケールものづくりのためのナノスケール標準
- 2806 測長 AFM を用いたナノ薄膜マイクロパターンの膜厚精密測定
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- 三次元測長型AFMによる形状パラメータの測定と不確かさ
- 31p-S-6 アセチレン分子のν_1+ν_2 振動バンドの飽和吸収分光
- 27a-R-6 非回折性CO_2レーザービーム
- 原点対称形の一体型三次元微動機構 (第1報)-設計・試作-
- SI-トレーサブルAFMとナノメトロロジー
- 一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- レーザ三辺測量における干渉計の配置と測定誤差に関する考察
- 自己キャリブレーション法を使ったレーザ三辺測量における干渉計の配置に関する制限
- 自己キャリブレーションを用いたレーザトラッキングによる三次元座標測定
- 原点対称形の一体型三次元微動機構(第2報)-特性評価-
- 表面粗さ測定における不確かさの評価 -APMPの国際比較測定-
- 各国標準研究所の測長走査型プローブ顕微鏡(ナノメートルを測る技術)
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーディングの校正 : (第2報)測定の不確かさ
- ナノメトロロジカルAFMを用いた一次元グレーティングの校正 : (第1報)校正手順
- ナノスケールの標準と校正 (特集:計量標準)
- ナノメトロロジーと標準
- 光周波数計測によるリュードベリ定数の決定
- 大口径平面度干渉計の製作
- 波長標準とその精密計測への応用
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題 : ボールプレート2国間国際比較を通して
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題
- 干渉測定による一次元ボールプレートの値付け
- 球状キャッツアイの製作
- 日本とオーストラリアによるボールプレートの国際比較
- 干渉三次元測定機によるステップゲージの校正
- ボールプレートの校正における不確かさについて
- 一次元ボールプレートの開発