自己キャリブレーションを用いたレーザトラッキングによる三次元座標測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-10-01
著者
-
高辻 利之
工業技術院計量研究所
-
谷村 吉久
計量研究所
-
黒澤 富蔵
計量研究所
-
小関 義彦
産業技術総合研究所人間福祉医工学研究部門
-
小関 義彦
機械技術研究所
-
後藤 充夫
計量研究所
-
谷村 吉久
産業技術総合研究所
-
高辻 利之
計量研究所
関連論文
- 新しい表面粗さの表示方式に関する調査研究
- 集積型マイクロ干渉計と走査型電子顕微鏡を用いた微小線幅の精密測定
- 可変構造型パラレルメカニズムの動力学を利用したリンク長制御(パラレルメカニズム)
- 三次元測長型AFMによる形状パラメータの測定と不確かさ
- 球面座軸受を用いた高精度三次元トラッキングレーザ干渉計の試作とその評価
- 31p-S-6 アセチレン分子のν_1+ν_2 振動バンドの飽和吸収分光
- 27a-R-6 非回折性CO_2レーザービーム
- 原点対称形の一体型三次元微動機構 (第1報)-設計・試作-
- レーザ干渉ねじリード測定機の実用化
- Open MRI 環境下手術支援マニピュレータのためのてこー平行リンク式位置姿勢伝達機構 : 運動学と可動領域解析, 剛性実験
- 1312 てこ-平行リンク式位置姿勢伝達機構を有する手術用マニピュレータ : 基本概念とプロトタイプ
- LSI用マスクパターンの線幅測定 : 国内での持回り測定結果について
- 円筒領域モデルによる2次電子エッジ信号の推定
- 真円度測定器の誤差特性の解析
- 測定顕微鏡の座標測定誤差の推定
- 真円度測定機の誤差特性の解析
- 長さ・角度, 形状, 流量・流速, 圧力の標準
- 一次元グレーティングの持ち回り比較測定・光回析法,測長SEM及び測長AFMを用いて
- 超精密計測へのハードル(期待される技術とその課題)( 激変する国際環境と精密工学)
- パラレルメカニズムの姿勢測定数を軽減したキャリブレーションに関する考察(機械力学,計測,自動制御)
- 2P1-3F-E8 パラレルメカニズムにおける測定を簡単化したキャリブレーション法
- ホログラフィ干渉で検出されたねじとラックのピッチ信号
- 最近のねじの測定
- 1μm以下における触針式表面粗さ測定機の縦倍率の校正
- F-1221 薄板折り曲げ加工による並進3自由度マイクロパラレルメカニズム : 第2報 : 構造解析(S46-1 マイクロ・ナノ作業(1))(S46 マイクロ・ナノ作業)
- F-1220 薄板折り曲げ加工による並進3自由度マイクロパラレルメカニズム : 第1報 : 基本概念とプロトタイプ(S46-1 マイクロ・ナノ作業(1))(S46 マイクロ・ナノ作業)
- 2P1-62-095 剛性マトリックスを用いた並進 3 自由度マイクロパラレルメカニズムの機構解析
- 市販振動加速度ピックアップの位相特性
- 2自由度系静電気駆動型ねじり振動子(第5報:振動・加速度センサ応用への試み)
- 振動加速度ピックアップ校正用レーザ干渉計の開発
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- 2自由度系静電駆動型ねじり振動子(第4報 : 固有振動数可変化の試み)
- 計数法による振動ピックアップ校正における計数誤差の除去
- 正弦波近似法による加速度ピックアップの校正と不確かさに関する考察
- レーザ三辺測量における干渉計の配置と測定誤差に関する考察
- 自己キャリブレーション法を使ったレーザ三辺測量における干渉計の配置に関する制限
- レーザ追尾式座標測定システムを用いたパラレルメカニズムの精度評価
- 自己キャリブレーションを用いたレーザトラッキングによる三次元座標測定
- 追尾式レーザ干渉計によるロボットハンドの位置計測
- 測長用マイケルソン干渉計の光路差変化と4つの数学的機能
- 表面粗さ測定における不確かさ(第1報) : 要因と見積もり
- 2P1-34-042 真直度測定における計測の不確かさ : 撓み問題
- 寸法・幾何計測の研究課題
- 円筒母線の実直度測定における不確かさ(第1報)-要因の理論的考察と見積もり-
- 原点対称形の一体型三次元微動機構(第2報)-特性評価-
- 微細パタ-ン測定用微動走査機構の運動特性
- 表面粗さ測定における不確かさの評価 -APMPの国際比較測定-
- 計測における複雑さと精密さ(複雑さと精密さの接点)
- 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置(第3報) : 低分解能光学系による対象位置の検出範囲拡大
- 偏光を用いた非接触位置検出プローブ
- レーザトラッキングによる移動体計測
- 偏光を用いた三角測量法による3次元自由曲面の非接触測定
- 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置(第2報) : 光検出器の受光領域の工夫と検出特性の改善
- 三次元トラッキングレーザ干渉計による座標測定機の精度評価
- トラッキングレーザによる座標測定機の精度評価と校正
- 追尾式レーザ干渉計による座標計測システム
- 光ファイバと結合した小型レーザ干渉計
- ナノメトロロジーと標準
- 光周波数計測によるリュードベリ定数の決定
- レーザ干渉計を応用した非接触微細形状測定装置
- 大口径平面度干渉計の製作
- 波長標準とその精密計測への応用
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題 : ボールプレート2国間国際比較を通して
- 幾何学ゲージ持ち回り比較の問題
- 干渉測定による一次元ボールプレートの値付け
- 可変構造型パラレルメカニズム
- 2A1-E07 2 自由度可変構造型パラレルアームの設計試作
- 2P2-D4 可変構造型パラレルメカニズムの姿勢変形(49. パラレルメカニズム)
- 2A1-53-064 中間リンク可変パラレルメカニズムの動作解析
- ホログラフィ干渉で検出されたねじとラックのピッチ信号(続報) : ラックの歯面と実際のピッチ測定
- 計量標準の供給制度を取り巻く現状
- レーザ追尾式座標測定システムを用いたパラレルメカニズムの精度評価
- 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置
- 角度アライメントの3成分が測れるオートコリメータ用反射装置
- 4ビームによる直接的空間位置決め法
- 表面欠陥の規格化に関するISOの動向(表面欠陥検査の現状と問題点)
- 昭和60年度秋季大会学術講演会に見る「計測, 機素, 機構」関連研究の動向
- レーザ干渉計で測長する場合の誤差要因
- 表面粗さの規格
- 計測分野に見る技術開発の連鎖 : レーザ干渉追尾式座標計測システムを例として
- 球状キャッツアイの製作
- 日本とオーストラリアによるボールプレートの国際比較
- 座標測定機の性能評価
- 円筒形状誤差の一解析法
- ショアハンマの反発特性と標準ハンマの選定方法
- 干渉三次元測定機によるステップゲージの校正
- ボールプレートの校正における不確かさについて
- 一次元ボールプレートの開発
- 術中MRI画像と内視鏡画像の統合提示システム
- ショアハンマの反発特性と標準ハンマの選定方法