三次元トラッキングレーザ干渉計による座標測定機の精度評価
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概要
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A new method for evaluating the coordinate error of commercial CMMs by using a newly developed three-dimensional tracking laser interferometer is proposed. The length between a moving Cats'-eye retroreflector set to the probing head of a CMM and the rotation center of the 3D tracking interferometer is measured and used for estimating the coordinate error at each sampled point based on nonlinear least squares. The measurement accuracy with the proposed method including the optical path accuracy of the Cats'-eye retroreflector and the structural accuracy of the tracking mechanism is evaluated both theoretically and experimentally.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-11-05
著者
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黒沢 俊郎
東京精密(株)
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高井 望
東京精密(株)
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豊田 幸司
計量研究所
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後藤 充夫
計量研究所
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中村 収
計量研究所
-
中俣 透
東京精密(株)
-
中村 収
計量研究所:(現)産業技術融合領域研究所
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