トラッキングレーザによる座標測定機の精度評価と校正
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The coordinates deviation of a CMM (three coordinates measureing machine) is estimated as error vectors within 1 μm of uncertainty, by using 2 laser tracking stations.The error vectors were estimated as the differences between coodinates data of the instrument and estimated positions by the least square method. The calibration or correcting method developed through grasping error vectors at overall working area of an instrument shall give a CMM system with computer to decrease measuring errors. The availability of this method was only verified on the plane coordinates, because laser tracking stations with one rotate axis was used for this experiment. It is easy to extend the plane coordinates to three coordinates if laser tracking stations with two axes for the three coorninates system are used.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-12-05
著者
関連論文
- 集積型マイクロ干渉計と走査型電子顕微鏡を用いた微小線幅の精密測定
- 球面座軸受を用いた高精度三次元トラッキングレーザ干渉計の試作とその評価
- LSI用マスクパターンの線幅測定 : 国内での持回り測定結果について
- サブμm領域における線幅標準とその測定
- 真円度測定器の誤差特性の解析
- 測定顕微鏡の座標測定誤差の推定
- 真円度測定機の誤差特性の解析
- 長さ・角度, 形状, 流量・流速, 圧力の標準
- 正弦波近似法による振動ピックアップ感度の校正と不確かさの評価および現行法との比較
- レーザ三辺測量における干渉計の配置と測定誤差に関する考察
- 自己キャリブレーション法を使ったレーザ三辺測量における干渉計の配置に関する制限
- レーザ追尾式座標測定システムを用いたパラレルメカニズムの精度評価
- 自己キャリブレーションを用いたレーザトラッキングによる三次元座標測定
- 追尾式レーザ干渉計によるロボットハンドの位置計測
- レーザトラッキングによる移動体計測
- 三次元トラッキングレーザ干渉計による座標測定機の精度評価
- トラッキングレーザによる座標測定機の精度評価と校正
- 追尾式レーザ干渉計による座標計測システム
- 光ファイバと結合した小型レーザ干渉計
- 膜下パタ-ンのコヒ-レンス・プロ-ブ計測
- レーザ干渉計を応用した非接触微細形状測定装置
- 4ビームによる直接的空間位置決め法
- リングレーザを用いた角度の測定
- 球状キャッツアイの製作
- 日本とオーストラリアによるボールプレートの国際比較
- 座標測定機の性能評価
- 円筒形状誤差の一解析法
- ショアハンマの反発特性と標準ハンマの選定方法
- ショアハンマの反発特性と標準ハンマの選定方法