追尾式レーザ干渉計による座標計測システム
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概要
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A coordinate measuring system with two target-tracking laser interferometers is developed. Each interferometer measures the radial distance between the corner point of a target cornercube mirror and the rotation center of the tracking. 2D coordinate value of the corner point is computed from these radial distances and a priori known distance between the rotation centers. Experimental comparisons between the system developed and a commercial coordinate measuring machine (CMM) shows that the accuracy of the coordinate measurement in the system is better than 1μm, regardless of the absolute distances. The problems of the present system and the extension of the system to three-dimensional measurement are discussed.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-05-05
著者
-
谷村 吉久
計量研究所
-
黒沢 俊郎
東京精密(株)
-
豊田 幸司
計量研究所
-
後藤 充夫
計量研究所
-
中村 収
計量研究所
-
黒澤 俊郎
東京精密(株)
-
中村 収
計量研究所:(現)産業技術融合領域研究所
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