超精密計測へのハードル(期待される技術とその課題)(<特集> 激変する国際環境と精密工学)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1988-01-05

著者

• 谷村 吉久

  計量研究所

• 矢野 宏

  計量研究所

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• 超精密計測へのハードル(期待される技術とその課題)( 激変する国際環境と精密工学)
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