各国標準研究所の測長走査型プローブ顕微鏡(<特集>ナノメートルを測る技術)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2002-03-05
著者
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権太 聡
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
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三隅 伊知子
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門長さ計測科幾何標準研究室
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権太 聡
産業技術総合研究所 計測標準研究部門 長さ計測科 幾何標準研究室
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三隅 伊知子
産業技術総合研究所 計測標準研究部門 長さ計測科 幾何標準研究室
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三隅 伊知子
産業技術総合研究所
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権太 聡
産業技術総合研究所
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