2209 検査校正用高精度ピッチアーティファクトの開発(歯車の設計・性能評価,一般講演)
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概要
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In this research, a high-precision pitch artifact is proposed for calibration of pitch measuring instruments. This pitch artifact is composed of the combination and the alignment of balls and cylinders on a plane. Balls, cylinders and planes are possible to be manufactured with several-ten-nanometer-order accuracy. Therefore, this artifact can accomplish high dimensional accuracy. In addition, manufacturing of this artifact is not difficult because time-consuming special process is not needed. In this report, the concept, structure and feature of this pitch artifact are proposed and theoretical analysis is carried out.
- 2008-04-20
著者
-
小森 雅晴
京都大
-
佐藤 理
産業技術総合研究所
-
大澤 尊光
産総研
-
佐藤 理
産総研
-
木天 孝
京都大
-
白崎 大輔
京都大
-
近藤 余範
東工大
-
小森 雅晴
京都大学大学院工学研究科
-
小森 雅晴
京都大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
佐藤 理
産業技術総合研
-
大澤 尊光
ドイツ国立物理工学研
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