非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1) : 超精密測定技術の研究
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1986-12-05
著者
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学
-
宮本 紘三
(株)小坂研究所
-
三井 公之
機械技術研究所
-
小沢 則光
機械技術研究所
-
河野 嗣男
金沢大学工学部
-
武者 徹
オリンパス光学
-
三井 公之
慶應義塾大学理工学部機械工学科
-
小沢 則光
機械技研
-
武者 徹
オリンパス光学工業(株)
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