加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-10-01
著者
-
矢澤 孝哲
新潟大学
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学
-
矢澤 孝哲
東京都立科学技術大学
-
宇田 豊
(株)ニコン
-
大野 直弘
コニカ(株)
-
山崎 俊文
東京都立科学技術大学
-
菅野 知明
東京都立科学技術大学
-
大野 直弘
東京都立科学技術大学
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学 機械システム工学科
-
宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
-
山崎 俊文
東京都立科学技術大学:(現)日立電線(株)
関連論文
- 微細溝加工の転写精度(1) : 円錐および角錐ダイヤモンド工具によるグルービング(GS-5 材料・加工II)
- 110 サブミクロンギャップにおける低粘度流体の流れ特性
- 108 サブミクロンギャップにおける低粘度流体の流れ特性
- テクスチャ面創製用連続ディンプルテクスチャ形成装置の高速化
- 110 ディンプルミーリングにおける稜線精度(OS13 高機能面の形成技術)
- ディンプルテクスチャの精密自公転ミーリング(第2報) : ディンプル面の加工精度と光学特性
- ディンプルテクスチャの精密自公転ミーリング(第1報) : 加工装置の試作と性能評価
- (2)標準尺刻線機
- 空間周波数フィルタリングによる粗面形状測定
- インプロセス計測用ゾーンプレート干渉計における遮蔽部分の補償
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- ハーフラインハルトマンテストによるインプロセス形状計測加工制御II -半径断面から全面形状へ-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第6報) : 正面切削における制御開始位置と変位計配置位置の影響
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第7報) : 非制御中心部の制御加工と全体面への展開
- ラジアルシェア干渉計を用いたカセグレン鏡の測定
- ハーフラインハルトマンテストによるインプロセス形状計測加工制御
- ハーフラインハルトマンテストによる鏡面形状オンマシン測定
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-
- オンマシン計測用干渉計の誤差要因解析と補正
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -D-MTSによる平面全体への加工制御-
- 中心部分を参照面とした凹面鏡干渉形状測定-ラジアルシェア干渉計による形状測定-
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御(第7報) -WORFACの球面加工への適応-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第5報) : 工具-変位計オフセット量の残留形状誤差への影響と補正制御できない特異点の除去対策
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第4報) : 第一参照面誤差収束と外乱除去に対する補正制御係数mの特性
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- SFU搭載用宇宙赤外望遠鏡(IRTS)の低温ハルトマンテスト
- 技能を感じさせないCMP装置をめざして(技術立国日本がめざす21世紀のモノづくり)
- 2. 加工技術の研究状況 : 2・7 加工計測 (機械工学年鑑(1995年)加工学・加工機器)
- 微小球状工具により形成されたディンプル/溝の形状精度
- 117 テクスチャ面形成のための連続ディンプル加工(O.S.1-3 接触問題とその応用)(オーガナイズドセッション1 : 新世紀に向けたトライボロジーと機械要素およびその応用技術)
- 球状工具を用いた微小な押し込みおよび溝加工の解析
- 完成近い巨大天体望遠鏡「すばる」(創立100周年記念 巨大な技術)
- 光学的精密計測技術 : 高精度表面形状測定を中心に
- ファイバーグレーティングハルトマンテストによる鏡面形状計測 : 鏡面切削中におけるインプロセス計測
- 知的精密計測
- 光による形状計測
- 加工と計測の一体化が生む高精度と合理化(インプロセス計測加工制御技術専門委員会)(専門委員会研究レビュー)
- ラインハルトマンテストによる鏡面形状オンマシン測定
- 502 軟質金属のダイヤモンド切削における切屑生成機構(O.S.5-1 表面・接触のトライボロジー)(オーガナイズドセッション5 : トライボロジーと機械要素およびその応用技術)
- 軟質金属のダイヤモンド切削における臨界切り込み深さ
- ディジタル研磨方法の開発 : ステップ揺動パターンへの適応
- 次世代CMP装置の開発 : 超低圧研磨,ローカル研磨技術の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- 高感度非接触粗さ計の開発
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第2報) : K-HIPOSSと平行板ばね式微小切込み工具台の応用
- 1006 被加工材質の微細溝加工形状への影響(O.S.10-2 情報機器の高度化)(オーガナイズドセッション10 : 情報機器/精密機器の高度化)
- バニシング工具による硬脆材料の微細溝形成
- ローリングの超精密計測と制御に関する研究
- 精密移動体のローリング計測・制御
- 「次世代CMP装置の開発」にまつわる話(こぼれ話と苦労話)(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- CMP装置の最新の動向 (特集1 半導体平坦化CMP技術)
- 新しいコンンセプトのCMP研磨装置「NPS2301/NPS3301」 (全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置)
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正
- ポリゴン鏡面の角度形状と割出し角度の走査ビーム径による変化
- ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発
- 精密角度基準の自律校正に関する研究(第2報)-測定の高精度化とその誤差の分析-
- キューブコーナプリズムとレーザ干渉計による回転精度測定法(第1報) : 原理と基礎的実験
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第3報) : 汎用旋盤を用いた円筒切削の制御
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第1報) : 加工面基準制御加工法の原理と基礎実験
- 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1) : 超精密測定技術の研究
- 表面欠陥検査の展望(表面欠陥検査の現状と問題点)
- 主軸の回転精度測定の高精度化に関する研究--反転法を用いた測定
- 測定に対する夢(正月の夢 : 基礎研究に対する会員の声)(これからの日本の基礎研究)
- 新しい表面粗さ測定技術