110 サブミクロンギャップにおける低粘度流体の流れ特性
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概要
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In this paper, flow characteristics of low viscosity fluid in submicron gap is investigated. Submicron gap is formed between aluminum and optical glass which ion milling is conducted. Micro texture is formed by V-groove on aluminum, and influence of groove pitch, depth and radius on flow rate is investigated. It is found that flow rate is controllable in the same gap by groove parameters.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-19
著者
-
矢澤 孝哲
長崎大学工学部機械システム工学科
-
矢澤 孝哲
新潟大学
-
矢沢 孝哲
新潟大
-
桝田 正美
豊橋技術科学大学
-
桝田 正美
新潟大学大学院技術経営研究科
-
清野 智彦
新潟大
-
桝田 正美
豊橋技科大
-
桝田 正美
新潟大
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