ファイバーグレーティングハルトマンテストによる鏡面形状計測 : 鏡面切削中におけるインプロセス計測
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概要
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- 1997-05-01
著者
-
矢澤 孝哲
新潟大学
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学
-
矢澤 孝哲
東京都立科学技術大学
-
宇田 豊
(株)ニコン
-
河野 慎一
富士写真光機(株)
-
河野 慎一
東京都立科学技術大学
-
河野 嗣男
東京都立科学技術大学 機械システム工学科
-
宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
-
鈴木 尚
(株)古河電工
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