ポリゴン鏡面の角度形状と割出し角度の走査ビーム径による変化

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1997-08-05

著者

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 清野 慧

  東北大学工学部

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 張 世宙

  東北大学工学部

• 張 世宙

  東北大

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