自律的形状創成法のためのインプロセス測定プローブの開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-09-05
著者
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
清野 慧
東北大学工学部
-
小倉 一朗
機械技術研究所
-
小倉 一朗
東北大学大学院工学研究科
-
小岩 秀貴
東北大学工学部
-
小岩 秀貴
東北大学工学部:(現)セイコーエプソン(株)
関連論文
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 変位計の線形誤差の自律的校正
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第4報, 整形歯車について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第3報, 歯形修整歯車の効果について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する所究 : 第2報, 最適歯形修整量について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第4報, 整形歯車について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第3報, 歯形修整歯車の効果について
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第2報, 最適歯形修整量について
- 差動レーザオートコリメーションに関する研究(第1報) : 光電式オートコリメーターによるピッチングの補正効果
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第3報) : 多断面法による測定
- 差動レーザオートコリメーションに関する研究(第2報) : 2本のレーザビームによる差動測定プローブ
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- 簡易ステッピングモータの試作研究 : 第1報,揺動形ステッピングモータの原理
- 振動する棒に沿って上昇する振子
- 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 高感度2軸マイクロ角度センサの開発
- スパイラル走査型AFMによる大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
- 非接触式変位センサによる精密ナノ計測制御
- 大面積3次元微細形状の高精度加工計測システム
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 原子間力顕微鏡による大面積3次元微細形状測定に関する研究
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 303 小型角度センサに関する研究([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報) : 運動誤差の機上測定実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- ナノ計測戦略(ソフトウェア)-精密ナノ計測フロンティア
- 粗さ測定のための走査型トンネル顕微鏡(STM)に関する研究 : スキッド式STMについて
- 高精度長尺工具の精密測定に関する研究 : CDDカメラを用いたスリット幅測定
- マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究
- 多自由度の位置と姿勢の精密検出法の研究 : 走査型角度センサによる角度格子読取り
- 角変位検出型 AFM の研究
- はずば歯車の振動に関する研究 : 第2報,実験結果の検討
- はすば歯車の振動に関する研究 : 第1報,理論解析
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する所究 : 第1報, かみあい率と歯車振動の関係
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- 対物レンズ振動式光触針に関する研究
- 光触針におけるスポットの平滑特性について
- 簡易ステッピングモータの試作研究 : 第2報,レールへの接触機構の改善
- 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 内挿誤差の自律校正による干渉計の高精度化
- 312 AFMによる大面積三次元微細形状の高精度測定に関する研究 : リニアエンコーダによる横方向精度向上(生産加工)
- 3軸角度センサに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 歯車に起因する機会振動の解析法 : 第2報,解析法の性格と精度
- 歯車に起因する機械振動の解析法 : 第1報,歯車振動の性格と総合起振力
- 511 バルブスリーブの内部欠陥の迅速検査に関する研究
- 誤差をもつ円筒歯車の荷重伝達特性に関する研究 : 第4報,歯形誤差による歯車振動起振力
- 歯車の振動・騒音の防止方法に関する研究 : 第1報, かみあい率と歯車振動の関係
- はすば歯車の振動・騒音に関する研究
- かさ歯車の振動に関する研究 : 第1報,円筒歯車との違い
- マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究 : ―測定装置の構築と切れ刃形状測定実験―
- 310 超精密非球面加工機の運動誤差測定 : 静圧スライドテーブルの真直度及びローリング誤差測定(生産加工)
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 干渉計による平面形状の絶対測定法の理論的研究
- 臨界角法のワイドレンジにおける平滑効果の考察
- 光触針におけるオーバシュート現象の考察
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- SPMにおける形状歪の高精度補正の研究
- ミリスケールSTMの開発
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
- 精密移動体のローリング計測・制御
- 座標測定機の自律校正法の研究 : 第3報 不等間隔プロービングによる自律校正
- 自律的形状創成法のためのインプロセス測定プローブの開発
- ポリゴン鏡面の角度形状と割出し角度の走査ビーム径による変化
- ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発
- 干渉顕微鏡の高さ方向誤差のその場自律校正法
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- 自律的位置検出に関する基礎的研究
- 大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価
- ソフトウェアデータムによる形状の絶対測定
- 歯車形状の非接触迅速測定法に関する研究(第1報) : 光触針式ピッチ誤差測定器の試作
- 歯車形状の非接触迅速測定法
- 平面のうねり形状の測定に関する研究(第1報) : 液面基準型角度検出器の試作
- 歯車の振動騒音に関する基礎的研究 : 第5報,円周方向振動の特徴
- 歯車の振動, 騒音に関する基礎的研究 : 第5報, 円周方向振動の特徴
- 自律校正法にもとづくPSDの線形誤差の評価
- スペクトルを重視した平歯車の定常振動の近似解法
- 歯車の振動のモード解析 : 第1報,1対の平歯車の動荷重の評価
- ソフトウェアデータムによる段差形状の測定
- 粗さ測定のための光スキッド法(第2報) : 2光源1受光系によるスキッド付き光触針
- 粗さ測定のための光スキッド法(第1報) : 原理と試作機の基本性能
- 合成法による形状測定に関する研究 : 基準領域選択の最適化と自動化
- 2次元ソフトウェアデータムによる超精密鏡面形状の絶対測定
- 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
- インプロセス形状測定機能を有するマイクロ加工プローブの設計
- 2次元変位センサの自律校正法に関する研究
- 405 カーボンナノチューブを用いた高精度走査プローブ顕微鏡の研究 : 自己検知型原子間力顕微鏡の構成
- ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究(第2報) : 光学式センサと真円度測定結果